Alicat Conductor 改善濺射鍍膜的真空控制 薄膜涂層的進(jìn)步對我們日常生活的幾乎所有領(lǐng)域都產(chǎn)生了深遠的影響，雖然很多肉眼不可見(jiàn)，只是微觀(guān)可測。 薄膜表面功能化涂層的實(shí)施目的一般有：一是賦予薄膜新的功能；二是對薄膜進(jìn)行保護提升耐用率；三是對薄膜起到裝飾作用。薄膜的制備方法很多，但所有方法都集中于沉積從幾個(gè)原子到幾個(gè)微米的材料層。 產(chǎn)生薄膜的常用的方法之一是濺射鍍膜，濺射鍍膜是指在真空室中，利用荷能粒子轟擊鍍料表面，使被轟擊出的粒子在基片上沉積的技術(shù)。 此篇文章我們將帶您了解有關(guān)薄膜涂層技術(shù)，以及真空如何使該過(guò)程更有效，更準確和更可靠。 1、防反射/高反射涂層 當光從具有一個(gè)折射率的介質(zhì)移動(dòng)到具有不同折射率的介質(zhì)(例如空氣到玻璃)時(shí)，其中的某些光被反射而不是透射，分層涂層允許根據波長(cháng)選擇性過(guò)濾光。 舉個(gè)栗子，如多層涂層的眼鏡有助于保護我們的視力，使其免受有害紫外線(xiàn)(<400nm)的傷害。 還有，非熒光試樣在通過(guò)熒光染料或熒光抗體染色后，可以在熒光顯微鏡下就可從顏色和反差中清晰地分辨其中不同的細胞組織。 
圖片由美國國立衛生研究院提供 用熒光蛋白描繪的培養的HeLa癌細胞圖解了高爾基體(橙色)、微管(綠色)和帶有DNA的細胞核染成了藍色。熒光激發(fā)和分色是通過(guò)薄膜涂覆的濾光片實(shí)現的。 2、透明導電氧化物涂層 透明導電氧化物(TCO)涂層允許涂覆幾乎不可見(jiàn)的導電涂層。應用多的集中TCO材料是：氧化銦錫(ITO，In2O3：Sn)，摻鋁的氧化鋅(AZO，ZnO：Al)，摻氟的氧化錫(FTO，SnO2：F)，摻銻的氧化錫(ATO，Sn2O：Sb)等。 TCO的應用領(lǐng)域非常廣，主要用于液晶顯示器的透明電極、觸摸屏、柔性OLED屏幕、光波導元器件以及薄膜太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域。 有些導電涂層還啟用了一些*的傳感器和應變監測技術(shù)。 3、類(lèi)金剛石碳鍍膜(DLC) 隨著(zhù)像Duralar技術(shù)之類(lèi)的公司開(kāi)發(fā)專(zhuān)門(mén)設計用于制造DLC涂層的涂層工具，這些涂層之所以如此命名，是因為它們提供了與鉆石相同的許多特性：耐磨性(機械或化學(xué))，硬度和潤滑性。這些高性能涂料正逐漸用于許多以前需要大量潤滑劑(通?；诨剂?以防止磨損的機械過(guò)程中。 汽車(chē)部件和切削工具通常涂有DLC涂層。DLC與合成鉆石非常相似，通常使用化學(xué)氣相沉積(CVD)進(jìn)行涂覆。CVD與上述提到的其他薄膜更常用的濺射涂層不同。 DLC還用于微電子，醫療設備，顯示器和傳感器。 
經(jīng)許可使用的圖片 Duralar Centurion系統用于DLC的生產(chǎn)性，高成本效益應用。 4、生物相容性涂層 濺射在產(chǎn)生生物相容性涂層中也很有用。醫療設備制造商面臨的挑戰之一是找到具有所需特性(通常具有耐化學(xué)，生物和機械磨損性能)且不刺激免疫反應(通常稱(chēng)為“排斥”)的材料。由于它們的生物反應性，許多通常很適合的材料無(wú)法使用。在許多情況下，可以屏蔽刺激免疫反應的材料，并使其與適當的硬質(zhì)涂層具有生物相容性， 典型的涂層包括氮化鈦(TiN)及其變體。 綜上所述，有許多用于沉積薄膜層的方法，而很受歡迎的工藝之一是濺射鍍膜(技術(shù)上是物理氣相沉積的一種形式)。濺射鍍膜的工作原理是在極低的壓力(真空條件)讓具有足夠高能量的粒子轟擊固體靶表面使靶中的原子發(fā)射出來(lái)，沉積到基片上成膜。 濺射鍍膜有兩類(lèi)：離子束濺射和氣體放電濺射,我們今天說(shuō)說(shuō)離子束濺射(IBS)吧。 在離子束濺射(IBS)中，在真空室中，利用離子束轟擊靶表面，使濺射出的粒子在基片表面成膜。濺射技術(shù)通常需要先將腔室抽空，然后添加惰性氣體以產(chǎn)生等離子體(通常是氬氣)。在反應濺射中，添加其他氣體(通常是氧氣或氮氣)以產(chǎn)生沉積在基片表面的反應產(chǎn)物。然后，要創(chuàng )建合適的腔室條件，需要協(xié)調真空度，氬氣(或類(lèi)似氣體)輸入以及潛在的反應氣體輸入。 真空控制在濺射鍍膜系統中的作用 濺射鍍膜系統的性能取決于許多因素，其中工藝氣體壓力和系統整體壓力是重要的因素，高精度、低延遲、成本效益和快速控制通常是操作中的關(guān)鍵因素。Alicat艾里卡特層流差壓工作原理可以確?？焖俸蜏蚀_地控制輸入氣體。Alicat艾里卡特質(zhì)量流量控制器響應時(shí)間快達30ms，并且可以將多個(gè)參數(體積、質(zhì)量流量、壓力和溫度)以高達1000次/秒的頻率反饋至系統。大多數Alicat艾里卡特質(zhì)量流量控制器的準確度是讀數0.6％，可確保傳輸準確的氣體量。Alicat艾里卡特質(zhì)量流量控制器內置多個(gè)參數供輕松切換，可以快速、輕松地控制氣體(尤其是用于產(chǎn)生等離子體的氬氣)的流量。 控制濺射室內的真空度也是濺射鍍膜工藝的重要組成部分。Alicat Conductor系列新產(chǎn)品可支持同時(shí)測量和控制室內的真空度，并集成了真空計、真空控制器和節流閥的功能。Alicat Conductor系列可確保完成的真空度，使濺射室具備薄膜沉積的條件，隨著(zhù)沉積過(guò)程的開(kāi)始，其他氣體的引入以及溫度的變化會(huì )影響反應室條件和后續的過(guò)程控制。在整個(gè)過(guò)程中，Alicat Conductor可確保濺射室內的壓力水平與您對過(guò)程控制的要求保持一致。 
上圖為簡(jiǎn)化的真空鍍膜系統，Alicat Conductor替換多個(gè)組件, 從而提高了系統的響應速度并提高了效率 Alicat Conductor™系列集成真空控制器旨在快速控制泵送真空過(guò)程的壓力，可集成到您的系統中，替換多個(gè)組件。即使在低至10mTorr的低量程下，我們的傳感器也可以高精度工作。 Alicat Conductor系列使用的數字和模擬接口(或工業(yè)協(xié)議)，與真空控制系統無(wú)縫對接，這彌合了質(zhì)量流量控制系統和真空控制系統之間通常存在的通訊差距，從而可以從公共界面輕松訪(fǎng)問(wèn)過(guò)程控制。Alicat的數字式顯示屏，可讓您一目了然地了解濺射室狀態(tài)。 立即與我們聯(lián)系，我們可按照您的要求定制質(zhì)量流量控制器和真空控制器來(lái)幫助您提高真空鍍膜工藝的準確度和效率。 |
