產(chǎn)品列表PRODUCTS LIST
引言: 前面發(fā)過(guò)有關(guān)真空壓力控制器應用的文章,收到不少小伙伴后臺留言咨詢(xún),此篇文章我們將帶領(lǐng)大家了解更多它的相關(guān)參數。
艾里卡特Conductor系列真空壓力控制器旨在快速控制抽真空過(guò)程的壓力,支持內置真空傳感器或外接真空計,具有較寬的真空壓力測量/控制范圍(0.01 Torr至1000Torr)。
Conductor系列控制器集成了多種電容膜片真空計(CDG)用于測量系統的壓力。通過(guò)調節被抽出真空系統的氣流量與進(jìn)入系統的氣流量達到平衡,從而調節系統真空度。
上游控制的計算示例:
真空泵的抽速:每秒2升
維持腔體壓力:10 TorrA
所需流量:實(shí)際壓力÷標況壓力×抽速= 10 TorrA÷14.696 PSIA×2 l / s = 0.013×2 l / s = 1.6 SLPM
使用艾里卡特真空控制器在單獨氣體供應裝置的上游進(jìn)行壓力控制時(shí),您無(wú)需擴大流量,只需使用較小的控制閥,即可提高控制性能并減少泄漏。
即使面對快速變化的過(guò)程工況(例如流量或溫度的波動(dòng)),艾里卡特Conductor系列真空壓力控制器也能迅速控制并保持壓力穩定在設定值。
#
快速響應
快速響應的閥門(mén)和特殊的PID控制算法構成了1毫秒的控制回路。
#
控制J準
j度可溯源至NIST
#
通訊連接
通過(guò)以下方式輕松與您的工業(yè)網(wǎng)絡(luò )協(xié)議集成:
· Alicat*的多點(diǎn)RS-232串口通訊
· RS-485串口
· Modbus RTU(基于RS-232或RS-485)
· Modbus TCP/IP
· DeviceNet
· EtherCAT
· EtherNet/IP
· Profibus
#
背壓控制
后置閥選項可以讓您的Conductor控制器控制過(guò)程腔體和真空泵之間的流量。將控制器安裝在過(guò)程腔體和真空泵之間,用于限制真空泵的抽氣流量,從而控制腔體的壓力上升或下降或維持穩定。如果你無(wú)法在系統上游安裝壓力控制器,但又想j確控制系統壓力,就可以使用后置閥門(mén)的背壓控制器。
概況
壓力量程
- 絕壓量程(以高真空為基準)
- 10、100和1000 TorrA單傳感器模塊
- 1000&10 TorrA雙傳感器模塊
性能
- 量程比 ≅ 1000:1
- 常規j度校準,可溯源NIST:+/- 0.5%滿(mǎn)量程(零點(diǎn)漂移可通過(guò)真空去皮調整)
- 典型控制響應時(shí)間:≥50ms(可調)
- 傳感器響應時(shí)間:2毫秒
- 顯示響應時(shí)間:<10毫秒
- 傳感器預熱時(shí)間:*的預熱時(shí)間-2小時(shí)
· 適用于大部分用途的-15分鐘
運行條件
- 氣體兼容性:與多種氣體兼容,包括大部分具有腐蝕性的氣體
· 關(guān)于腐蝕性氣體可參閱Alicat氣體清單,查看接液材料的兼容性。此真空壓力控制器不適用于液態(tài)水
- 接液材料:302、303、304和430FR不銹鋼、黃銅、FKM和FFKM、氧化鋁、可選316L不銹鋼主體
- 工作溫度:+10至+ 50°C
- 傳感器損壞壓力:6 kTorrG(116 PSIG)
工藝連接件
- Compression
- SAE
- 偉洛克®(包括管,VCO®和VCR®)
電氣接頭
- 6針鎖緊型工業(yè)接頭
- 標準8針mini-DIN接頭
- 8針螺紋型M12接頭
- 9針引腳
- 15針引腳
如果我們內置的CDG真空傳感器無(wú)法滿(mǎn)足你的量程或性能的需求,或您想使用自己的真空傳感器,請與Alicat 中國代表處聯(lián)系以獲得協(xié)助,以確保您的控制器能夠快速穩定的運行。
Conductor
用于真空控制的快速響應絕壓控制器