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您知道陽(yáng)極氧化與發(fā)藍處理的弊端嗎？盡管表面是耐腐蝕的，但容易被被刮擦。陽(yáng)極氧化過(guò)程大多不會(huì )增強表面硬度，鍍鉻倒是有此功效，但鉻有毒性，且易磨損、易變形、易碎裂。Duralar科技有限公司——真空沉積系統的制造商，希望利用物理氣相沉積開(kāi)發(fā)一套類(lèi)金剛石材料的快捷鍍膜系統，其堅固性與持久性都強于陽(yáng)極氧化與鍍鉻，并將應用于金屬部件表面的防腐蝕、防侵蝕、防磨損等處理過(guò)程。
假設您也是類(lèi)似于Duralar公司的物理氣相沉積技術(shù)的革新者，希望通過(guò)科技讓生活變得更有趣。我們假設您沒(méi)有足夠充裕的時(shí)間、也并不擁有一顆搖錢(qián)樹(shù)！研發(fā)過(guò)程中需要不斷地測試、考慮新方案的可行性以及參與反應的氣體，須時(shí)時(shí)切換氣體種類(lèi)并調節流量大小，從而確保的鍍膜量。您一定不希望為每一此測試都采購一臺全新的真空型質(zhì)量流量控制器，也一定不能忍受每切換一次氣體就不得不將系統停機重新標定質(zhì)量流量控制器。
Duralar公司初的氣相沉積系統中集成了6臺熱式質(zhì)量流量控制器，但這6臺設備無(wú)一采用特殊氣體——四甲基硅烷(簡(jiǎn)稱(chēng)TMS)液體蒸發(fā)——標定過(guò)。事實(shí)上，除非將系統停機后重新標定質(zhì)量流量控制器，不然根本無(wú)法真正意義上地實(shí)現氣體切換。因此，Duralar公司聯(lián)系了艾里卡特。雖然四甲基硅烷也不在艾里卡特標準兼容氣體列表中，但經(jīng)過(guò)一番定制化設計后，我們交付了一臺耐腐蝕、四甲基硅烷特殊標定的質(zhì)量流量控制器。
碳素鋼通過(guò)硬如金剛石的物理氣相沉積真空鍍膜后呈黑色
Duralar公司對原先的物理沉積系統進(jìn)行了改良，采用艾里卡特質(zhì)量流量控制器。只是一個(gè)偶然的替換，如今卻成了系統中始終維持精密四甲基硅烷流量的保障，無(wú)論流量大小是趨于滿(mǎn)量程還是僅為滿(mǎn)量程的0.5%。因為艾里卡特質(zhì)量流量控制器內置的氣體切換功能所采用的算法不僅是乘以系數K對某一點(diǎn)流量進(jìn)行補償，而是基于一套完整的、附有NIST粘度值的性能曲線(xiàn)。Duralar公司也無(wú)需再為工廠(chǎng)內溫度或壓力的變化對精度產(chǎn)生干擾而擔憂(yōu)，因為不同于傳統的熱式質(zhì)量流量控制器，艾里卡特質(zhì)量流量控制器內的閉合回路傳感器將自動(dòng)對體積的變化進(jìn)行補償。
不久，Duralar公司就開(kāi)始通過(guò)將腔體抽真空來(lái)生產(chǎn)鍍膜材料，腔體內充入恰好流量的氣體，加入蒸汽鍍料并將其轉化成具有附著(zhù)性的漿體。物理氣相沉積必須在真空環(huán)境下進(jìn)行，從而鍍料到達被鍍物體表面時(shí)而不會(huì )被氧化。
上圖為由一臺真空泵與三臺質(zhì)量流量控制器組成的原型系統
之后，Duralar公司又打算開(kāi)發(fā)一項管道內壁鍍層的系統。管道內壁鍍層有助于減少腐蝕性液體或氣體通過(guò)管道時(shí)造成的磨損與腐蝕，亦能防止槍管等內部生銹。實(shí)現方法十分巧妙：將管道尾部密封以形成一真空腔體。此過(guò)程中的關(guān)鍵在于須在一狹窄的管道空間內改變鍍料位置以完成整個(gè)管道內壁鍍層。這就意味著(zhù)更多樣化的原型設計、*的實(shí)驗，艾里卡特再一次鼎力相助。
通過(guò)一臺用于四甲基硅烷的MCS耐腐蝕型質(zhì)量流量控制器及兩臺MC系列標準型質(zhì)量流量控制器，Duralar公司輕而易舉地實(shí)現了在預置的98種常用氣體外加至多20種自定義氣體中任意切換，耐腐蝕型質(zhì)量流量控制器中標準預置氣體更是達到128種。
上圖為艾里卡特質(zhì)量流量控制器應用于原型系統的LabVIEW界面
Duralar公司下載了艾里卡特LabVIEW驅動(dòng)程序來(lái)構建上述真空系統，通過(guò)遠程電腦來(lái)控制質(zhì)量流量控制器及自己的節流閥，終，在規定期限內完成了此真空系統的設計，并已將其投產(chǎn)。如今，您可以為您的金屬部件鍍上類(lèi)金剛石的材料，也可以訂購一臺鍍膜系統開(kāi)展相關(guān)的鍍膜服務(wù)。相比于陽(yáng)極氧化，真空鍍膜要持久耐用的多；與鍍鉻相比，則更為簡(jiǎn)易與堅硬。艾里卡特質(zhì)量流量控制器的可變與適應性使得物理氣相沉積技術(shù)又有了新的突破。
